·  CMP，即Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光—是一个化学腐蚀和机械摩擦的结合。CMP技术所采用的设备及消耗品包括：抛光机、抛光浆料、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等。抛光机、抛光浆料和抛光垫是CMP工艺的3大关键要素，其性能和相互匹配决定CMP能达到的表面平整水平。其工艺过程中抛光浆料颗粒控制在0.5μm以内，本公司提供的系列过滤器及折叠滤芯可提供您有效的过滤解决方案。
·  主要特点
·  非对称膜、高纳污量
高通量、高泡点、高除菌
高亲水性、易于水润湿测试
绝对孔径确保有效过滤
每支滤芯通过完整性检测
广泛的化学相容性

材料结构	操作条件	绝对过滤精度(um)
滤材: 进口非对称聚醚砜膜 内芯: 聚丙烯 外罩: 聚丙烯 端盖: 聚丙烯 垫片/O型圈: 硅橡胶、三元乙丙、氟橡胶、包四氟 密封技术: 热熔焊接	工作温度：≤80℃ 可耐最大压差：4 bar (21℃)／2.4bar (80℃) 灭菌方法：121℃/30min蒸汽灭菌	0.05、0.10、0.22、0.45、0.65、0.80、1.20 有效过滤面积 ≥0.65 m2/10〞
生物安全性	滤芯尺寸	完整性测试
内毒素：≤0.25EU/ml 溶出物：≤30mg/10〞	外径: 68mm 长度: 5〞、10 〞、20 〞、30〞、40〞	起泡点测试（纯水） 0.10um≥4.0bar 0.22um≥3.4bar 0.45um≥2.3bar
应用领域
电子行业：超纯水制备终端过滤、半导体湿设备终端过滤、水性油墨终端过滤、电子试剂终端过滤。 制药行业：注射用水、大输液（LVP）、小针剂(SVP)、冻干粉针、生物制品、眼药水、抗生素等除菌过滤。 食品行业：纯生啤酒、葡萄酒、纯水、矿泉水等除菌过滤。