超纯水制备

2026-03-24

核心过滤系统配置

  1. 预处理单元
    • 多介质过滤器(去除悬浮物)
    • 活性炭过滤器(吸附有机物)
    • 精密保安过滤器(5μm)
  2. 深度净化单元
    • 反渗透膜系统(脱盐率≥99%)
    • EDI电去离子装置
    • 终端抛光混床(电阻率≥18.2MΩ·cm)

技术优势

  • 极致水质保障
    • TOC含量≤5ppb
    • 颗粒物控制≤0.1μm
    • 细菌含量≤1CFU/mL
  • 智能控制系统
    • 在线水质监测(电阻率/TOC/颗粒数)
    • 全自动运行与再生
    • 远程监控与数据记录

应用领域

  1. 半导体制造
    • 晶圆清洗用水
    • 刻蚀工艺用水
  2. 生物制药
    • 注射用水制备
    • 培养基配制
  3. 实验室分析
    • 色谱分析用水
    • 精密仪器冲洗

专业服务支持

  • 定制化设计
    • 根据原水水质定制工艺路线
    • 提供系统扩容方案
  • 全周期服务
    • 安装调试与验证
    • 耗材更换与维护
    • 性能优化与升级

本方案通过创新的过滤技术和专业的服务,实现"让过滤变得更简单"的理念,为客户提供稳定可靠的高品质超纯水。